LMSP系列 X-Y平臺(tái) 整合位置感測(cè)器可作閉迴路控制 採(cǎi)用空氣軸承故無(wú)磨耗 磁場(chǎng)不外漏,不影響周?chē)O(shè)備 無(wú)溫升問(wèn)題 可倒吊安裝 定子面積可達(dá)1000x1000 mm
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